簡單介紹
INFICON的 Pirani 標(biāo)準(zhǔn)真空計 PSG500 和 PSG502-S 代表封裝在堅固耐用小型管殼內(nèi)的**先進的Pirani技術(shù).溫度補償提供快速與**穩(wěn)定的真空測量并消除了對大氣壓強反應(yīng)慢的問題. 堅固耐用的不銹鋼傳感單元更適用于半導(dǎo)體系統(tǒng), 以及常規(guī)用途如前級真空管道中.
PSG500 Pirani 標(biāo)準(zhǔn)真空計
特點：
■ 占空間小
■ 任何方位安裝
■ 不銹鋼測量單元的金屬密封饋入件
■ **化的溫度補償
■ 易于集成的對數(shù)訊號輸出
■ 至10巴**壓力的高過壓能力，用螺紋連接件
■ 烘烤型在法蘭處可達到250 °C
■ 易于更換的傳感單元
應(yīng)用：
■ 控制高真空電離真空計
■ 前級真空壓強監(jiān)測
■ 真空系統(tǒng)中的安全電路
■ 在中真空和粗真空范圍內(nèi)的一般真空測量與控制