優(yōu)點：
■ 測量范圍廣：5 X 10 -7～1 Pa
■ 全金屬冷陰極陶瓷傳感器
■ 新型幾何電極提供了極好的點火性能
■ 降低等離子點火高電壓和鈦陰極板污染的危險，即使在氬濺射過程中也一樣
■ 陽極環(huán)和鈦陰極可清洗，更換容易
■ **小磁場強度測量
■ LED指示燈電源和等離子點火
■ 對數(shù)模擬輸出信號
■ Fieldbus總線接口(Profibus DB, DeviceNet),集成到真空系統(tǒng)的網(wǎng)絡(luò)通信
