INFICON公司生產的HPG400型高壓強熱電離皮拉尼真空計將高壓強熱電離與皮拉尼規(guī)管綜合在一個小型、輕便與經濟的規(guī)管中，測量壓強從2×10-6至1000毫巴(1.5×10-6至750乇)。HPG400提供高度的重復性和再現(xiàn)性壓強測量，用于**的濺射過程的壓強控制。
用戶優(yōu)越性
◆ HPG400節(jié)省成本和設備空間，降低真空測量的安裝與設置的復雜性
◆ 高壓強熱電離真空計1×10-5毫巴為要求高的過車工控制提供**、可靠的壓強測量
◆ 用戶可選的熱電離發(fā)射在5×10-2至1毫巴之間起始工作
◆ 皮拉尼聯(lián)鎖保護熱陰極防止它過早燒毀
◆ 高真空皮拉尼自動調整，減少操作人員的干預
◆ 備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場總線接口
典型應用
◆ 半導體制作中濺射工藝應用，電子學的媒體工業(yè)
◆ 工業(yè)鍍膜
◆ 在低至超高真空范圍中系統(tǒng)的一般真空測量和控制
訂購資料
| 型號 | HPG400 Without LCD display | HPG400 With LCD display | HPG400-SP With Profibus DP1） | HPG400-SD With DeviceNet1） |
| DN 25ISO-KF | 353-520 | 353-521 | 353-525 | 353-527 |
| DN 40CF-R | 353-522 | 353-523 | 353-526 | 353-528 |
| 更換傳感器25ISO-KF | 354-487 | 354-487 | 354-487 | 354-487 |
| 更換傳感器40CF-R | 354-488 | 354-488 | 354-488 | 354-488 |
1）不帶液晶顯示器
附件
| 電源24VDC/RS232C線 | 353-511 | 353-511 | 353-511 | 353-511 |